Tài liệu Thư viện số

Danh mục TaiLieu.VN

Xác định các thuộc tính Plasma ion hóa yếu trong va trạm electron của phân tử khí tries và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

- Nghiên cứu lý thuyết và tài liệu liên quan đến phương pháp dùng plasma tạo ngưng tụ SiO2.
- Nghiên cứu và tổng hợp một số phương pháp thông dụng được áp trong việc tính toán các hệ số chuyển động của electron trong phóng điện của chất khí.
- Với mục đích xem xét khả năng ứng dụng chất khí TRIES cũng như hợp chất của chất khí này với các chất khí khác tương ứng với các phần trăm trộn khí khác nhau trong công nghệ chế tạo vi mạch, luận án thực hiện:

Từ khóa: Xác định các thuộc tính Plasma ion hóa yếu, electron của phân tử khí tries

168 p thinhcntt 09/11/2023 72 1

Bình luận